直流磁控溅射用于镀制金属膜及化合物膜，例如金、银、铝、钛、铬等，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度高（达1%）。
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品名
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直流磁控溅射电源
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型号
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MSD系列
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输入
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相数
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三相+N
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电压
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380V
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频率
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50Hz
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输入方式
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4线（含零线）
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输出
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波形
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直流
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功率
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20kW~200KW（可定制）
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电压
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0—1200V（可定制）
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稳定度
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≤1%
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电流
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0—200A（可定制）
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稳定度
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≤1%
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纹波及杂讯
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≤5%或≤3%
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效率
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≥90%
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控制
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控制方式
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标准方式：恒流
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可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
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控制接口
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标准方式：面板手动
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可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
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保护
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具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
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冷却
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风冷或水冷
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外型
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防护等级
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IP21
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单元尺寸(W*D*H)
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箱体：440(W)X220(H)X560(D) （20KW风冷）
面板：482(W)X248(H)
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重量
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约30KG（30KW）
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备注
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服务项目
