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全自晶圆动清洗机(ACS-1000/ACS2000)

上海宏轶电子科技有限公司
联系人 陈小姐
地区 上海市 松江区
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产品参数
详细信息

ACS系列是专门用于晶圆、QFN、玻璃、基板、手机模组和陶瓷等切割后的清洗设备,此系列为二流体清洗方案。采用可编程控制器+全彩色触摸显示屏为控制系统,令整机性能更加稳定、操作便捷。

产品特点:  

Ø 采用***新的二流体混合清洗方案,提供扇形圆柱形两种清洗喷头。

Ø 适用于蓝膜、UV膜、PET衬底膜和双层膜。

Ø 旋转轴采用用于航空业的磁密封技术,性能安全、可靠,真空泄漏量小于1%

Ø 采用离心式自动抓紧锁扣装置,不需要人工固定夹具等复杂操作。

Ø 配备7英寸全彩色触摸屏,清洗参数和错误报警信息一目了然。

 

Ø 一键式启动执行全自动工作流程,清洗状态监视,时间倒计时显示。

技术规格:

 

型号

ACS-1000

ACS-2000

单位

备注

规 格 参 数

适用产品尺寸

3~8

3~12

Inch

可定制特殊品

 

清洗压力

0.1~0 .5

0.1~0.5

MPa

 

 

工作盘转速范围

200~3000

200~3000

rpm

 

 

清洗和甩干时间范围

3~999

3~999

S

 

 

操作显示屏

7"

7"

Inch

 

 

机器尺寸

450x 800x 1250

550 x 850 x 1250

mm

 

动  力  

电源

单相AC 220

三相AC 380

V

 

 

压缩空气

0.5~0.8

0.5~0.8

MPa

 

 

氮气

0.3~0.5

0.3~0.5

MPa

 

 

设备重量

100

150

Kg

 

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